南丹麦大学的研究团队创新性地将压电MEMS微镜与光学超表面(OMS)相结合，实现了动态光束操纵的技术突破。OMS作为一种纳米结构阵列，旨在通过亚波长尺度控制光的相位和振幅。然而，传统OMS通常是静态的，而动态OMS的开发对于激光雷达、光通信等智能系统至关重要。研究团队采用压电材料，如液晶和2D材料，以及机械驱动方法，如压电MEMS薄膜，来实现OMS的动态重构，如通过电控改变金属纳米砖和背反射器的距离。

他们的工作重点是开发电学动态MEMS-OMS平台，利用压电MEMS微镜与基于GSP的OMS分离设计，实现了高效、宽带和快速的2D波前反射塑形。实验结果表明，通过调整微镜与OMS的距离，实现了与偏振无关的动态光束操纵，TM和TE波的操纵效率分别达到40%和46%，对焦效率分别为56%和53%。此外，平台的响应时间在兆赫兹范围内优化，显示出巨大的改进潜力。

OMS和MEMS微镜的制造分别采用了标准的电子束光刻和半导体制造工艺，然后进行封装和组装，确保了组件的精确对齐和低功耗特性。这种集成的解决方案为动态光束操纵提供了新的可能，为未来的光通信和光学系统开辟了新的道路。

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文章来源：天狐定制

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