一毫米等于1000微米。微米是长度单位,符号为µm,1微米相当于1米的一百万分之一,也即“微”的字义。ISO 2955国际标准中,“u”作为10的国际单位制符号已被接纳。微米常用于描述红外线波长、细胞大小和细菌大小等。
1000000皮米(pm)等于1微米(μm),1000纳米(nm)等于1微米(μm),1毫米(mm)等于1000微米(μm),0.001毫米(mm)等于1微米(μm),0.0001厘米(cm)等于1微米(μm),0.00001分米(dm)等于1微米(μm),0.000001米(m)等于1微米(μm),0.000000001公里(km)等于1微米(μm),0.000001微米(μm)等于1皮米(pm),0.001微米(μm)等于1纳米(nm),1000微米(μm)等于1毫米(mm),10000微米(μm)等于1厘米(cm),100000微米(μm)等于1分米(dm),1000000微米(μm)等于1米(m),1000000000微米(μm)等于1公里(km)。
微米技术用于界定物理特征尺寸接近1μm的体系。20世纪60年代后期,研究人员实现了机械装置的小型化和批量制作,为机械领域带来了类似集成电路技术对电子领域的进步。微米技术,也称为MEMS,始于1969年美国西屋公司设计的谐振栅—场效应晶体管。1970年代,一些制造厂商开始使用体硅蚀刻技术生产压力传感器。技术突破持续到20世纪80年代初,当时使用新型多晶硅表面微加工技术制造磁盘驱动磁头的驱动器。80年代后期,MEMS器件的潜力得到认可,开始广泛应用于微电子和生物医药工业领域。在25年的发展中,MEMS从技术好奇心的领域转变为充满商业潜力的领域。如今,MEMS器件已成为汽车安全气囊、喷墨打印机、血压监测仪、投影显示系统和空间系统等的核心部件,并展现出广泛的用途。预计在不远的将来,这些MEMS器件将像微电子产品一样普及。
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