⑴点缺陷：在绝对零度以上，随温度升高，晶体有序排列的原子在其点阵位置振动的平均振幅增大原子获得大于平均能量时，就产生了不按周期性点阵排列的内原子错序现象，即热力学平衡条件下，晶体中由热驱动产生原子或离子的空点阵。原子尺度的晶格缺陷。

在空位、间隙原子和置换原子周围的原子偏离其平衡位置而形成的点阵畸变区域.

(2) Frenkel缺陷

MO氧化物中M或者0离开正常点阵位置移到间隙位置，构成数目相等的金属离子空位(Vm)与间隙金属离子(Mi)，它们之间彼此无相互作用，称为Frenkel缺陷。

从原则上讲，还应有反Frenkel缺陷，它由氧离子空位(Vo)与间隙氧离子(0i)组成，这类氧化物很少。

(3)Sochottky缺陷

Sochottky缺陷是指，晶体中正常位置的金属离子与氧离子离开平衡位置，跳跃到晶体表面，并建立新的正常晶体点阵层，同时晶体内留下等数目的金属离子与氧离子空位(Vm与V。)，并伴随着晶体体积增加和密度降低。

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