1756年俄国M.V.罗蒙诺索夫首先测定化学反应中物质的重量关系，将锡放在密闭容器中燃烧，反应前后重量没有变化，由此得出结论：“参加反应的全部物质的重量，常等于全部反应产物的重量。”1774

年法国A.-L.拉瓦锡重复类似的实验，并得出同样的结论。

由于罗蒙诺索夫和拉瓦锡时代所用的天平不够精密，所以后来又有不少科学家用更精确的方法证明这一定律。例如19世纪中叶，比利时分析化学家J.-S.斯塔用银和碘制备碘化银，所得碘化银的质量与碘和银的总质量只相差.002％。19世纪末，H.H.兰多尔特用很精密的天平再一次证明这一定律的正确性。

20世纪，A.爱因斯坦发现了狭义相对论，他指出，物质的质量和它的能量成正比，可用以下公式表示：

E=mc2式中E为能量；m为质量；c为光速。以上公式说明物质可以转变为辐射能，辐射能也可以转变为物质。这一现象并不意味着物质会被消灭，而是物质的静质量转变成另外一种运动形式。所以20世纪以后，这一定律已经发展成为质量守恒定律和能量守恒定律，合称质能守恒定律。

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